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由于旋片式真空泵機(jī)構(gòu)本身固有的自我補(bǔ)償間隙調(diào)整作用，所以它對(duì)小的機(jī)構(gòu)損傷不特別敏感。在多數(shù)設(shè)計(jì)中，所選擇的滑動(dòng)軸承比球軸承對(duì)灰塵的敏感性小。一旦塵粒因重力而從油中分離出來(lái)，油池中就產(chǎn)生沉淀物，它不參入油的循環(huán)，直到被清除掉。對(duì)于這些塵粒，可以用油過(guò)溥器濾除，但實(shí)際似乎不值得。如果污染嚴(yán)重，過(guò)濾器的更換過(guò)于須繁，就不如換油簡(jiǎn)單。在塵粒進(jìn)入泵內(nèi)之前，最好將其阻止在可處理的位置處。對(duì)此，采用干式過(guò)濾器和含油捕集阱最為有效。所選擇的保護(hù)方法應(yīng)取決于所處理的體積、塵粒的大小和允許的壓強(qiáng)下降。在有磨蝕塵粒的情況下，應(yīng)使旋片式真空泵的零件表面硬度增高，以延長(zhǎng)使用壽命。

暴露于低蒸氣壓下的物質(zhì)并不少見(jiàn)。這些物質(zhì)冷凝在泵中，并與潤(rùn)滑液混合，或使?jié)櫥合♂專(zhuān)虺善釥詈湍z狀的沉淀物。氣鎮(zhèn)方法對(duì)此無(wú)能為力。最好的辦法是當(dāng)這些蒸氣到達(dá)泵之前就將其擋住。但在許多場(chǎng)合下，這樣做是不妥的，因?yàn)楸迷谌绱藢挼膲簭?qiáng)范圍內(nèi)工作，難以設(shè)計(jì)出有效的阱，或者由于有一定的污染物使阱的維護(hù)成為困難的問(wèn)題。此時(shí)，大都采用定期換油的辦法解決。

腐蝕性的污染物，特別是當(dāng)其量不大時(shí)，是可以控制的。潤(rùn)滑油可以在大多數(shù)金屬表面和腐蝕物之間起緩沖區(qū)的作用。另外，如能夠防止水的凝結(jié)，其腐蝕性的危害就變得相當(dāng)有限。利用干燥氣體的隔離作用可有效地防止大氣在分離器中的凝結(jié)。保持分離器中有略高壓強(qiáng)的干燥氣體，能杜絕環(huán)坡濕度對(duì)泵油的影響。

溶性蒸氣是指那些溶解于油中的且又能在泵的入口側(cè)再釋放出來(lái)的很難用氣鎮(zhèn)法處理的物質(zhì)。這時(shí)，最好使用雙級(jí)旋片式真空泵。大氣級(jí)的油粘度要保持在使原能工作的程度上。用對(duì)污染不敏感的前級(jí)泵再生的油或真空蒸餾凈化的油均能較好地工作。